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喜报 | 重掺砷单晶拉制乐成 ,打响海纳五年妄想第一枪
2020/09/27 4345 字号:

2020年9月19日 ,浙江海纳半导体有限公司(以下简称“海纳半导体”)第一根5英寸重掺砷单晶出炉。


紧接着9月23日 ,第一根6英寸重掺砷单晶相继出炉。重掺砷单晶的拉制乐成标记着海纳半导体“年产100吨4-8英寸IC级单晶硅及其制品技改项目”正式拉开量产的帷幕 ,这是海纳半导体在重掺抛光片细分领域迈进的主要一步 ,更是实现981博天娱乐最新版本科技新谋划生长战略——“智慧交通+泛半导体”中的主要一环。


随着重掺砷单晶的试拉乐成 ,海纳半导体的产品结构将延伸到外延衬底用抛光硅片的所有重掺系列 ,为完成海纳半导体的五年妄想打响了第一枪。


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海纳半导体的重掺项目自2019年7月最先着手制订实验计划 ,在地方政府的鼎力大举支持下 ,经由环保部分严酷评审 ,2020年1月21日正式获得环评审批。

2020年伊始 ,突如其来的新冠病毒疫情打乱了所有的妄想 ,但全体员工不畏艰难、巧妙安排 ,冒风雨、顶炎热 ,终于仅比原妄想推迟一个月 ,周全完成了按环评要求的环保设施建设和按IC级情形要求的园地升级刷新 ,装置、调试单晶炉及其配套的真空、气体装备也马一直蹄地举行 ,最终于8月尾告竣了生产条件。

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重掺外延衬底用抛光硅片是抛光片最大的细分市场。海纳半导体现在已掌握了制备种种重掺硅单晶的相关手艺 ,凭证硼、磷、锑、砷等差别元素的化学特征开发相关手艺 ,准确控制掺杂剂比例 ,电阻率掷中准确 ,部别离艺指标行业领先。海纳半导体在重掺系列产品的全笼罩 ,为海纳半导体进一步提升抛光片产品的产能和市场 ,并成为海内质量一流的抛光片企业夯实了基础。

积跬步以致千里 ,全体海纳人将再接再厉、勇闯新高 ,为完成目的——将海纳半导体打造成“一家以6英寸抛光正片为主,兼8英寸抛光片(重掺衬底硅片)质量海内一流、高端研磨片海内龙头职位的优异企业”而不懈起劲!


重掺砷单晶简介
随着极大规模集成电路时代的到来 ,CMOS工艺因其众所周知的低功耗和优良的噪声容限 ,已经成为IC业的盛行工艺 ,但随着集成度提高而带来器件沟道宽度的一直缩小 ,CMOS结构所固有的pnpn晶体管引起的闩锁(Latch-up)效应会越发严重 ,另外 ,电路按比例缩小后由α粒子辐射爆发的软失效还可能在电路中引发严重的逻辑过失。

重掺单晶可以解决这一问题。重掺单晶因其能战胜器件结构中固有的闭锁效应和α粒子软失效等寄生效应 ,从而普遍用作硅外延片的衬底质料。其中 ,由于砷元素具备消融度大、扩散系数小、错配度小等特征 ,重掺砷硅单晶片是最为理想的外延衬底质料 ,普遍应用于集成电路和高端功率器件中。随着集成电路和功率器件应用领域和规模的一直扩大 ,对重掺砷硅单晶片的市场需求量也一直增添。


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